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 揮発性有機化合物(ＶＯＣ)中に於ける HITY2000 Micro Relative Humidity Sensorの特性
そのためどんな湿度センサーを使用する場合でも、対ＶＯＣに対してその影響を考慮する必要があり、代表的なＶＯＣ環境は次の通りです。 １．換気及びエアコンシステム：１０ｐｐｍ ２．混成集積回路製造システム：２５〜５００ｐｐｍ ３．有機溶剤や化学物質の製造システム及び使用環境：５００ｐｐｍ以上 以下のテスト報告書はHITY2000の幅広い使用実績に基づき作成されています。 テストには双極子モーメント、沸点、水素結合強度、水に対する溶解性に大きな差がある物質を使用しました。
ＶＯＣ濃度レベルは、ASHRE Standard 62-1989 Ventilation for Acceptable Indoor Air Qualityで定められているレベル以上である。
センサーはＶＯＣに浸したものでも基準曲線と大きな変化はなかった。その理由はセンサーの能動素子として使用されている親水性ポリマーがクロスリンクし、化学的に接着碁面と結合するからである。現在までに出版された殆どの研究は、浸漬試験のみでセンサーの説明がされている。しかしこれはＶＯＣを含む実際の環境下での性能のほんの一部を表しているのにすぎません。
表１（浸漬試験）センサーを有機溶剤に室温で２４時間浸し溶剤が蒸発後、基準試験を行った。 （溶剤の影響確認試験）
（２）Dynamic Test
ＶＯＣ濃度が10〜500ppm中でセンサーが使用されるのが一般的です。従ってDynamic
Testの方が浸漬試験よりも現実的な性能試験です。一般的にＶＯＣに対するセンサーへの影響は沸点と濃度の増加と共に大きくなります。水に対する非混和性溶剤は基準曲線に対しプラスの傾向を示し、混和性溶剤はマイナスの傾向を起こします。
また混和性溶剤は相対湿度が増加したときセンサーへの影響は減少します。
表２（Daynamic Test）この試験は20%及び70%ＲＨの条件下で、各々200ppmと1000ppmのＶＯＣ濃度を与えテストした。
HITY2000センサーの有機溶剤に対する安定性及び耐薬品性は悪条件下において優れた性能を示している。下記加速試験は通常の作業条件を上回る悪条件である。
ゼン等の非極性溶剤はセンサーの動的性能に影響を与えません。 （２）濃度 200ppm〜1000ppmの条件下に於いてメタノール、アセトン、ホルムアルデヒト等の極性溶剤 はセンサーの動的性能に影響は与えません。 （３）一般的に工場作業者にとって安全とされている工場環境（ＯＳＨＡ ＵＳＡ基準）ではセンサーの 動的性能に影響を与えません。 応答速度 
図は湿度センサーを11%rhから93%rhに上昇（吸湿）した時及び93%rhから11%rhに下げた （脱湿）時の応答速度 ＨＩＴＹ２０００の応答速度は他社製品と比較して著しく優れています。 |
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